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百级电子车间气流组织的CFD数值模拟
半导体生产制造按照其制造技术可分为:集成电路器件、分立器件、光电半导体、逻辑IC、模拟IC、储存器等大类。半导体器件的生产对生产环境要求严格,其涉及数百个制造工序,像芯片生产过程中的光刻、腐蚀、扩散、蒸发、表面纯化等,工艺流程上都会往复交叉频繁。由于其生产技术的特殊性,为了产品的质量及使用寿命,对生产制造的环境,如温度、湿度,压力、通排风量、洁净度等都有严格要求。
洁净室风口布置方案的气流组织模拟评估与筛选
在洁净室设计过程中,为保证洁净室的洁净度,气流组织的设计至关重要。而气流组织设计是通过合理布置送风口、回风口、排风口来实现的。如果送风量、回风量、排风量计算正确,但风口布置不合理也达不到设计要求。对此,关于洁净室的送风口和回风口布置方案,如何从多种布局方案中找到最佳设计方案,可以通过CFD气流组织模拟对多方案进行预判评估筛选
CFD气流组织模拟的10大应用领域
气流组织是空气设备和空间结构的系统组织学。 空气设备的改进周期较长,通常需要以年为单位,而空间气流组织的优化,借助CFD的气流模拟,配合人员的培训等就可完成。目前CFD气流组织模拟主要应用在以下十大领域:
百级(千级)洁净室气流组织评估要点
在高等级洁净室中,要求气流组织在洁净室内部是单向流或绝大部分区域是单向流,同时,要求洁净室内和回风道有较大的压差。 关于百级(千级)洁净室气流组织模拟的评估内容主要有以下几点:
气流仿真在恒温恒湿工程设计中到底有多重要?
Clabso仿真软件专门用于恒温恒湿环境的暖通设计与管理及微环境的空气质量分析,适合结构工程师,产品经理,应用工程师,设计工程师和维护人员使用,在早期产品设计阶段,为企业节省至少10%-15%的成本,助力企业提升产品质量、缩短研发周期。
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